废气uv光氧催化设备进行有机废气处理的光解氧化机理包括两个过程：一是在产生高能离子群体的过程中，UV光氧催化设备非标定制，一定数量的有害气体分子受高能作用，本身分解成单质或转化为无害物质。二是含有大量高能粒子和高活性的自由基的离子群体，与大分子气体（如苯、等）作用，打开了其分子内部的化学键，灌云UV光氧催化设备，转化为无害的小分子物质。而且不会更多的对设备和环境造成不利影响。
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